X熒光光譜儀作為元素分析的重要工具，其性能很大程度上取決于探測(cè)器的選擇。目前，主流的探測(cè)器包括流氣式正比計(jì)數(shù)器、NaI閃爍計(jì)數(shù)器和Si(Li)探測(cè)器，三者因原理差異在分辨率、適用波長(zhǎng)范圍及元素檢測(cè)能力上各有特點(diǎn)。
流氣式正比計(jì)數(shù)器
流氣式正比計(jì)數(shù)器適用于長(zhǎng)波長(zhǎng)范圍（0.15～5.0 nm），通過電離氬氣與甲烷的混合氣體產(chǎn)生脈沖信號(hào)，平均每離子對(duì)能量為26.4 eV，電子數(shù)305/光子，分辨率為1.2/keV。其優(yōu)勢(shì)在于對(duì)輕元素（如碳、氧）靈敏度高，常用于地質(zhì)和環(huán)保領(lǐng)域。然而，需持續(xù)通入氣體以維持穩(wěn)定，維護(hù)成本較高。
NaI閃爍計(jì)數(shù)器
該探測(cè)器基于X射線激發(fā)NaI晶體發(fā)光的原理，適用于短波長(zhǎng)（0.02～0.2 nm），平均離子對(duì)能量達(dá)350 eV，但電子數(shù)僅23/光子，分辨率為3.0/keV。其優(yōu)勢(shì)在于對(duì)重元素（如鐵、鉛）檢測(cè)效率高，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單耐用，常用于工業(yè)金屬分析。缺點(diǎn)是分辨率較低，易受高能射線干擾。
Si(Li)探測(cè)器
Si(Li)探測(cè)器屬于半導(dǎo)體探測(cè)器，采用液氮冷卻技術(shù)，適用波長(zhǎng)范圍0.05～0.8 nm，平均離子對(duì)能量?jī)H3.6 eV，電子數(shù)高達(dá)2116/光子，分辨率達(dá)0.16/keV。其高分辨率和寬元素覆蓋范圍（從鈉到鈾）使其成為實(shí)驗(yàn)室精密分析的首選，但需低溫環(huán)境且成本昂貴。
當(dāng)前，新型硅漂移探測(cè)器（SDD）因無需液氮冷卻且分辨率接近Si(Li)而逐漸普及，未來可能取代傳統(tǒng)探測(cè)器7。實(shí)際應(yīng)用中需根據(jù)檢測(cè)元素范圍、分辨率需求及維護(hù)成本綜合選擇。例如，流氣式適合輕元素快速檢測(cè)，NaI適用于重元素工業(yè)場(chǎng)景，而Si(Li)或SDD則用于高精度實(shí)驗(yàn)室分析。
創(chuàng)想X熒光光譜儀